AQ TTV 是美国公司研发的新一代研磨悬浮分散剂。
AQ TTV 相比较传统产品,极大地提高了悬浮性,即使将流量降低50%,研磨后蓝宝石 晶体与硅片表面的形貌
仍极佳。
因每位客户的工艺过程不尽相同,如果您在试用过程中有任何问题,请与我们的技术服务部门联系,我们
将为您提供具体的建议。
产品特性
1. 相比同类产品,可降低50%流量
2. 减少总厚度偏差
3. 极好的悬浮性
4. 极强的带浆能力
5. 良好地润滑性,减少刮伤
6. 可用于研磨12寸的大直径硅片
主要指标
外观:
颜色:
味道:
密度- (G/CC):1.00 - 1.03
折光率:1.3550 - 1.3750
粘度Brookfield@ 25ºC (cps):42,000 - 47,000
pH值:8.80 - 9.30
BOD5 @ 5% (grams oxygen/gram) 0.002
COD @ 5% (grams oxygen/gram) 0.01
透明胶状
水白色
无味
AQ TTV
研磨浆配浆比例—初始配方:
将AQ TTV 用于研磨时,初始配方建议为:
AQ TTV
去离子水
FUJIMI研磨粉
2-4%
余量
20%
典型混合步骤:
1. 在200升的不锈钢底容器中,加入100升去离子水,用带有15cm的低速螺旋搅拌桨进行搅拌;
2. 开始搅拌,转速为400-500转/分;
3. 一边搅拌一边往容器中缓慢加入30kg研磨粉。(通过金属筛网加入研磨粉会更加均匀,无结
块);
4. 转速保持400-500转/分,混合12分钟;
5. 待气泡消退;
6. 加入7升AQTTV;
7. 转速调为100-200 转/分,混合15分钟;
8. 将研磨浆加入机器的浆槽中。
清洗:
我公司建议您使用本公司Ultraclean E 或Ultraclean 1435 A 或Ultraclean 04K 清洗剂来清洗
蓝宝石 晶体 硅片表面的研磨浆。
如果您使用其它品牌的清洗液,我们的技术服务部门也十分乐意与您共同探讨。
包装: 275加仑(1040升)塑料桶包装,55加仑(208升)塑料桶包装,6加仑(25升)塑料桶包
装。
贮藏: 贮存温度为5º- 35ºC。 联系人 李先生 QQ990495710