7月9日,湖北鼎龙控股股份有限公司(鼎龙股份)发布公告,公司仙桃园区生产的多晶硅(Poly-Si)抛光液及氮化硅(SiN)抛光液产品(搭载仙桃自产研磨粒子)首次取得千万元级批量订单。
2022年6月29日,投资超10亿元的鼎龙(仙桃)光电半导体材料产业园开工建设。值得一提的是,从鼎龙武汉本部的研发基地出发前往鼎龙(仙桃)光电半导体材料产业园只需要45分钟车程;和仙桃产业园一墙之隔的湖北新蓝天新材料股份有限公司,是一家生产有机硅交联剂、偶联剂、催化剂的新材料高新技术企业,能够给鼎龙提供包括研磨粒子关键原材料在内的很多基础原材料。
该项目年产1万吨CMP抛光液(一期)及年产1万吨CMP抛光液用配套纳米研磨粒子产线自2023年11月竣工试生产后,经过公司高效的投料试产、工艺拉通,以及与客户紧密的验厂稽核、产线验证等工作,目前已具备大批量稳定规模量产能力。
近期,经过国内某主流晶圆厂客户严格的产品质量审核,仙桃园区生产的多晶硅(Poly-Si)抛光液及氮化硅(SiN)抛光液产品(搭载仙桃自产研磨粒子)首次取得千万元级批量订单。此外,公司上述抛光液产品在国内其他主流晶圆厂客户同步验证中,目前进展顺利。
小贴士:
多晶硅(Poly-Si)和氮化硅(SiN)抛光液主要用于半导体制造和太阳能电池生产中的晶圆抛光工艺,磨料粒子主要是SiO₂或Al₂O₃(溶胶),作用具体如光伏产业中使用多晶硅抛光液对硅片进行表面处理,以提高光电转换效率和电池性能;半导体产业中使用氮化硅抛光液将用作掩膜层、绝缘层或保护层的氮化硅材料平整,确保晶圆表面的平整度和光滑度,满足高精度制造要求。
目前,鼎龙股份全制程CMP抛光液产品的市场推广持续进行,多款型号抛光液产品在客户端的订单需求持续上升,铜及阻挡层抛光液、介电层氧化铈抛光液等产品的开发验证预计也将在今年下半年取得进一步突破。