- 品牌/型号：X61 1572L-1
该机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体、光电玻璃及其他硬脆材料的双面高精度研磨。主要特点：
1、下研磨盘主轴采用液压轴承支承，运转精度高。
2、上盘采用绳传动提升加压，动作灵活，压力控制精度高。
3、采用四电机拖动，各电机速度及方向独立定义，电机速度采用闭环控制，运行精度高。
4、配备修正轮取放机械手，降低劳动强度。
5、上盘采用可移动式龙门支撑，刚性好，操作方便。
6、采用先进的嵌入式控制器配合工业现场总线控制。
7、图形化操作界面拥有20套20步工艺数据库。
8、四级用户权限管理（管理人员、维护人员、工艺人员、普通操作），方便了各层次人员的操作使用。主要技术参数：
1、上研磨盘尺寸：φ1572mm×φ572mm×70mm（铸铁）2、游星片参数：公制 Z=152 M=4 а=20°3、游星轮数量：5片4、最小研磨厚度：
0.5/φ200mm；0.4/φ150mm5、最大研磨厚度：30mm6、最大研磨直径：φ500mm7、下盘电机：
18.5kW
4极
AC380V8、上盘电机：11kW
4极
AC380V9、太阳轮电机：
1.5kW
4极
AC380V10、 齿圈电机：4kW
4极
AC380V11、 气源压力：
0.6-0.7MPa12、 龙门后退距离:800mm13、 外形尺寸：3242mm×2400mm×3000mm14、质量：约12000kg